旋片真空泵是一种油封旋转抽气机,又叫盖德泵,主要由定子,转子及滑片等组成。转子偏心装在定子中,并与定子内壁顶点相切。转子上装有两个能滑动的滑片,靠弹簧和转动时离心力的作用而紧紧贴在定子壁上。转子和滑片将定子分成吸气腔、贮气腔和排气腔。由于转子转动带动滑片使吸气腔不断扩大而吸气.而排气腔中气体逐渐被压缩,直到其中压力超过大气压时,排气阀片被打开,气体被排到大气中去。
为防止排出气体返流泵内,特将排气阀用油覆盖密封。真空泵油对定子、转子与滑片之间除润滑作用外,也还有密封作用,另外,泵油充满泵腔内有害空间,消除它们对极限真空的影响。
普通旋片真空泵,多用于抽除纯净干燥气体,若抽除含有大量凝聚气的气体,则需选用旋片气镇(阀)真空泵。有气镇阀安装于“贮气腔”,它会开启吸入一定数量的空气,其分压超过抽气空腔中水蒸气压力的几倍,到排气腔时,水蒸气的分压还低于饱和蒸气压,故不会凝结成液体水滴,而保持气态与空气一起排出泵外。
旋片式真空泵可作独立获得低真空的设备,极限真空约为6.7x10-1Pa,广泛应用于真空冶金、真空运输、真空浇铸、医疗器械、冷冻干燥、真空浸渍、真空热处理等行业。旋片式真空泵也可以作为高真空泵的前级泵和预抽泵,如作为油扩散泵、罗茨泵、油蒸气喷射泵、涡轮分子泵的前级泵、溅射离子泵的预抽泵。还可构成抽气机组,用于国民经济各个领域。